平面度检查仪可广泛应用于各级计量单位，研究所和大学实验室及大型机械加工工厂计量室和车间，对机床，仪器的精密导轨和精密平板做运动直线性和平直度测量，以及角度仪器和器具的角度值精度测定。平面度检查仪是根据光学自准直原理设计的，它可以地测量机床或仪器导轨的直线度误差，也可以测量平板等的平面度误差，利用光学直角器和带磁性座的反射镜等附件，还可以测量垂直导轨的直线度误差，以及垂直导轨和水平导轨之间的垂直度误差，与多面体联用可以测量圆分度误差。
平面度检查仪特点:
1.分度值为格值，计算直线度和平面度误差直观、方便。
2.仪器结构小巧，携带方便，适合各种条件下使用。
3.暗视场亮十字线瞄准，成像清晰，读数方便。
4.光学直角器采用高精度五角棱镜，与带磁性座的反射镜联用，可以测量相互垂直的导轨的直线度和垂直度。
5.取景器和水平调整板配合使用可以方便地找到远距离的反射像。
6.目镜头可回转 90°，能分别测量水平和垂直两个方向的直线度误差。
平面度检查仪用途：
1.平面度检查仪适用于各级计量单位、研究所、大专院校实验室、工厂计量室，特别适用于车间加工和安装调试现场。
2.与光学直角器(选配)、带磁反射镜(选配)联合使用，可测量垂直导轨的平直度和垂直度。
3.与多面棱体(选配)联合使用，可测量度盘的圆分度误差。
平面度检查仪是一种应用光学自准直成象测微原理的高精度测角仪器，它利用光学自准直法，把角度量变成线值量，由微型线位移光栅传感器测出线值变化量，间接地把角度变化量测出来。它广泛用于小角度的精密测量。平面度检查仪采用掠入射光干涉原理，专注于高精密加工表面平面度快速测量评估, 广泛应用于航空航天，汽车工业喷油嘴行业，泵、阀门密封件表面，以及光学工程，激光工程等领域。