德国Lamtech平面度仪如何实现平面度的测量？
德国Lamtech TOPOS 100 是一款非接触式平面度测量仪器，用于精密制造表面，具有亚微米精度。 TOPOS 平面度测量仪器满足 客观工作测量工具的要求，用于精密部件（例如燃油喷射 系统、泵或阀门）的生产和质量控制。
TOPOS 干涉仪允许对研磨、 精加工和抛光精密部件进行非接触式平坦度测量。 TOPOS 干涉仪根据光的放牧率原理运行。 也可以测量较粗糙的部件的平坦度，光学平面或菲佐干涉仪没有更多的条纹图案。 计算机根据干扰模式计算测试对象的平坦度。 在研磨或研磨部件旁边也可以测量抛光部件。 可测量多种材料： -金属（钢，铝，青铜，铜等） -陶瓷 (Al2O3, 碳化硅, 碳化硅等) -塑料材料 -等 干涉仪可放置在生产线上，靠近加工机。 在整个测量区域内，精度可达 0.1µm。
德国Lamtech平面度测量仪特点：
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: ＜0.4μm
◆ 测量速度快: ＜3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
平面度检测仪技术参数：
型 号 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
测量范围(直径) | 50mm | 100mm | |
参考平面平面度 | 优于0.06μm | ||
参考面材料 | 石英玻璃 | ||
灵敏度 | 0.5,1,2或4μm每纹 | ||
精度 | (0.1??0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 | ||
Z轴波动范围 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重复性 | 优于0.01μm1) | ||
分辨率 | 优于0.01μm | ||
数据采集量 | 300,000点 | ||
测量时间 | 小于2s | ||
整体尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
应用示例：
